제품 정보
● 3중 회로 기능이 있는 2 중 탱크 시스템
● Digital Factory 준비 : DNA 접근, 원격 제어, 추적 기능 (PLC 데이터 검색 및 암기)
● 완전 자동 4 단계 프로세스 :
청소, MediumWipe®, 헹굼 (수돗물), DI-Water 세정, VMH®-Turbo 디지털 건식 건조
● 프로세스 및 서비스 간격을 PLC로 제어
● 고해상도 10"(인치) 디스플레이를 사용하여 오류 발생 및 소프트웨어를 제어하고
멀티 터치 기능을 제공
● 수평 PTFE를 장착한 로터 시스템으로, 최대 4개의 비동기 스프레이 로터가 있어 완전한 습윤이 가능
(사각지대 없음)
● 이온 잔류물 오염의 자동 모니터링 및 세척액 수질의 자동 측정
● 표준 기능으로 세척 탱크 (A)의 히터
● 세척액 탱크 (B / C) 및 펌프 아웃 장치를 표준 기능으로 교환
● EDGELESS Design 및 VARIccess® 유지 보수 접근 :
매우 작은 설치 공간에서 최대 용량
● 고온 세척 및 80 °C까지 헹굼을 위한 HT 버전.
Key Applications

Applications overview

장비 사양